真空科学与技术学报

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L型铌酸锂超表面工艺优化研究

姚雪盈, 常文瑶, 郭子瑞, 李健梅, 郭阳, 顾长志

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504003

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适用于真空系统的压电微阀门流导测试和调节特性研究

杨传森, 郭宇扬, 宋春尧, 刘迪, 丁双, 卢耀文, 王欢, 齐鲁平, 杨轶行

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503018

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射频电源电参数对四极质谱计性能影响理论分析与仿真验证

李星言, 成永军, 冯天佑, 孙雯君, 陈联, 王星辉, 赵澜

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503017

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Highly Stable, Antiferromagnetic MnN Films Grown by Molecular Beam Epitaxy

JI Zhuang, XIAO Dongdong, GU Minghui, MENG Meng, GUO Jiandong

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503008

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不锈钢的电子轰击放气影响特性研究

罗艳, 王魁波, 吴晓斌

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503005

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氢去钝化光刻技术研究进展

鲍洋, 徐海, 景鹏涛, 徐辑廉, 闫家旭, 詹达, 刘雷, 申德振

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503006

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基于再吸附效应的航天器热控系统中狭缝结构气体传输迟滞响应研究

郭天雨, 张学迅, 闫晓, 冯蕾, 毕海林, 王旭迪

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501016

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镱金属真空蒸发过程中束形器参数对束流特性的影响

郭凯, 杨佳琦, 张志忠

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503004

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感应耦合等离子体电磁特性的模拟

官泳, 张政权

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502011

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氮化钛薄膜晶粒尺寸对局域表面等离子体共振的影响

蒋琬玉, 林鑫, 母德涛, 贾永峰, 符亚军, 曹林洪

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504017

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原子层刻蚀：工艺、材料兼容性与应用研究进展

曹勇, 高远, 王正铎, 樊秀微, 刘忠伟

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503021

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气体流量比对氮化铜薄膜结构与电催化析氢性能的影响

孔彦毅, 王英如, 肖剑荣, 蒋爱华

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503015

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真空炉温度场模拟研究

周明旭, 李建昌, 袁洪峰, 龚志刚

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501004

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基于PIC/MCC模型与溅射模型的直流磁控溅射工艺仿真

江璐萍, 温慧, 张权治

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202505007

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基于氧化物阴极发射探针的空间电势测量

杨金双, 李建泉

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202505003

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同步辐射真空紫外光束线气体滤波池差分孔的结构对分子束流和真空度的影响

范海涛, 何子阳, 刘成园, 赵龙, 潘洋, 许鸣皋, 杨玖重, 王旭迪

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504005

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非对称爪型干式真空泵转子型线设计与数值模拟

魏民, 刘海滨, 叶乐志, 魏焱锋

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202505001

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大型低温测试平台绝热支撑腿的结构设计与性能分析

吴清浩, 杨庆喜, 史根木

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504021

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M型阴极热失效机理及加速寿命实验模拟

樊鹤红, 白岩, 李传顺, 陈昭福, 王铁羊, 宋芳芳, 赵鹏, 于志强, 孙小菡

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501019

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高速空间定向分子流地面模拟与压力校准方法研究

张湧颀, 鄂鹏, 陈千睿, 宋春尧, 王欢

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202412015

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笼目结构表面的原子操纵及图形化研究

周贞如, 王婷婷, 范浩龙, 李燕, 郝小雨, 詹凌涛, 曹雄柏, 余钦泽, 杨惠霞, 张腾, 张全震, 陈岚, 王业亮, 高鸿钧

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503023

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HfNbTaTiZr难熔高熵合金表面渗碳和高温轧制研究

杨光, 李金娜, 庞云, 马贤, 王丁丁, 马尚义, 刘继文

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502009

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溅射镀膜单体机真空室气压的滑模控制策略设计

胡明, 许泽宇, 来华杭, 赵德明, 高兴文, 高云, 吴梅

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504020

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大质量数四极质谱计仿真分析及性能测试

韩琰, 熊兵, 蔡龙, 袁翠平, 郭琦, 任国华

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504014

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空气耦合的宽频带CMUT微元及阵列设计

刘袁涛, 许高斌, 杨宇诚, 孙百川, 季旭

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504009

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多探测器信号协同成像机制及其在扫描电镜材料表征中的应用

薛敏, 魏杰, 陈炜晔, 张磊

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503014

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微间距放电在不同气压与间距下路径改变的研究

魏先锐, 孙岩洲, 张昊, 马国凯

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502008

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溅射离子泵空间磁场的分布优化研究

王岩, 王鹏飞, 任晨华, 韩立

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501001

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基于锂冷原子的超高真空分压力测量研究

康小洁, 冯焱, 董猛, 冯村, 张亚飞, 孙雯君

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504016

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大气压低频容性耦合Ar/O₂放电特性研究

吕明宇, 刘相梅, 王博, 林婧, 王鑫

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503012

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连续流下挡板阀流导的数值模拟研究

王涛, 王宇钢, 王林, 池春光, 陆宗浩, 赵华通

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503007

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转子吸力面弧度及转速对旋转式水力空化反应器空化特性影响研究

李晓佟, 王磊, 蒲发杰, 管思桐, 刘竞婷, 宋永兴

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504002

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复杂载荷下的真空腔体结构变形传递特性

朱宏智, 彭湃, 吴俊, 王旭迪, 高晓东

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202504007

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结构参数对水环真空泵能量损失及其性能影响研究

李清云, 赵国勇, 刘华一, 杨盼盼, 李燕杰, 边靖尧

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503022

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170/218 GHz双频回旋管准光模式变换器设计

田德成, 张瑞, 赵国慧, 王勇, 田露

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503016

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基于多场耦合的塑壳断路器分断双弧特性及影响因素分析

梁博, 董海燕, 窦建明, 燕宁宁, 王思润, 林小军

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502021

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DBD等离子体处理火驱尾气中稀薄甲烷的实验研究

马婷婷, 成鹏, 韩微笑, 孙康宁, 李森

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501011

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MAED-CNN:一种原子尺度图像降噪的深度学习模型

詹凌涛, 范浩龙, 张腾, 王婷婷, 曹雄柏, 李燕, 周贞如, 张全震, 杨惠霞, 王业亮

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503002

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HDPCVD工艺中空洞缺陷和等离子体充电损伤的产生及改进方案

吴恩利, 郭晓晓, 柳俊, 赵波

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202403004

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CFETR外真空杜瓦结构分析与疲劳寿命评估

李宁, 杨庆喜, 宋云涛, 周才品, 徐皓, 陈建, 陶腊宝, 陆坤

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202101002

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2023 年 8 期目录

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制冷机低温泵冷板阵列仿真分析及结构优化

姚吉恺, 王国栋, 李恒霖, 陈肇玺

2025, 45(7): 523-528. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502005

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ECR等离子体产生的电子束源设计和仿真分析

张维嘉, 刘海浪, 彭治国, 曾李, 钟可宁

2025, 45(7): 529-534. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202410008

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一种适用于（10～10⁵）Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计

杨传森, 郭宇扬, 刘迪, 郑阳阳, 卢耀文, 王欢, 宋春尧, 陈俊儒, 丁双, 陈千睿

2025, 45(7): 535-541. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502003

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磁悬浮分子泵转子径向位移波动抑制机理的研究

温福强, 宋铠钰, 孙灵豪, 刘强, 张嘉伟

2025, 45(7): 542-549. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502020

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超导加速模组水平测试平台真空泵站结构分析与优化

赵凡, 李菡, 尉伟, 岳泰, 李靖国, 孙兴中

2025, 45(7): 550-560. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202412011

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热轧制工艺对Ti₆₁Al₁₆Cr₁₀Nb₈V₅多主元合显微组织与力学性能的影响

何杨宇, 张朝晖, 刘一帆, 程一辰, 贾晓彤, 王强, 周金朝, 程兴旺

2025, 45(7): 561-571. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202503019

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基于数字孪生的真空蜗轴泵扬程与流场特性预测方法

连加俤, 蔡晨阳, 许静, 谢杭清

2025, 45(7): 572-583. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501002

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自由基刻蚀多晶硅及氟原子密度检测的研究

高远, 李筝, 曹勇, 桑利军, 刘博文, 刘忠伟

2025, 45(7): 584-591. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202501018

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微波远程等离子源腔壁仿真与实验研究

安丽, 黄星星, 杨振怀, 赵迎宾, 胡琅, 侯少毅, 王凤双

2025, 45(7): 592-599. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202411010

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基于液滴微流控技术的微米级厚单层多孔薄膜应变传感器制备

章腾泽, 程世龙, 章城

2025, 45(7): 600-609. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202502019

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真空感应炉熔炼超高锰钢锰和氧含量控制工艺

刘建民, 姜彩伟, 胡显军, 顾晔

2025, 45(7): 610-617. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202408011

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