优先发表

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HfO₂栅介质调控IGZTO薄膜晶体管电学性能及稳定性

邹米捷, 吴敏芳, 郑定山

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202604018

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基于MS-CNN的真空镀膜机膜厚均匀性自动化控制方法

王宾, 徐星, 战春鸣

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202512001

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地外星球中甲烷来源检测方法

周德蓉, 王斐, 郭美如

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202602007

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负压隔膜泵结构优化及性能验证

雷月霞, 吴兵, 曹俊峰, 巩创军

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202602003

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W波段修正矩形环对角双杆行波管研究

何锐, 汤鹏, 廖永森, 高嘉欣, 魏望和

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202512017

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JCPY-4.2D真空镀膜机器人设计仿真与性能试验

袁虎成, 朱文丽, 刘强, 张世国

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202601020

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涡轮分子泵跨流态模拟及结构灵敏度分析

蒲小琴, 匡永麟, 杜志华, 王晓冬

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202603006

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Ti/Al摩尔比对CrTiAlN硬质膜硬度及耐磨性的影响研究

高健, 李秀荘, 李佳遥, 张钧

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202601015

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基于质谱法的水蒸气透过率测试系统设计及实验研究

王国栋, 张世恒, 李建文, 刘强, 陈景明, 何志斌, 余锡友

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202602006

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锆掺杂氧化镁-金薄膜二次电子发射性能研究

陈慕尧, 杨济世, 彭友炜, 吴胜利, 李洁, 胡文波

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202602012

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基于光腔衰荡吸收光谱技术的极小真空分压力校准设备研究进展

张树雨, 成永军, 贾文杰, 董猛, 孙雯君

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202601008

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远程真空检漏测试平台设计

陈国徽, 袁啸林, 左桂忠, 胡建生, 王航, 曹淇彦, 董夷力

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202603015

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介质阻挡放电非平衡态等离子体处理含聚废水油水分离实验研究

李森, 钱远航, 顾艳玲, 胡子康, 马婷婷, 何鑫, 徐凯

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202601018

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实验参数对同轴枪放电等离子体特性影响研究

刘金垚, 宋健

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202604001

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消除磁控溅射Cr薄膜应力环状缺陷的工艺优化

付学成, 陈亮, 王英, 杜鸿基, 史凯旋

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202602018

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基于多目标的制冷机低温泵抽气性能分析与研究

胡振宇, 杨庆喜, 林可馨, 徐皓, 陈肇玺

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202604015

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低真空节流元件内颗粒团聚与沉积仿真研究

王泽涛, 张克杰, 华伟健, 阮仁晖, 刘鹤欣, 闫昊, 车军, 武中地, 谭厚章

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202511001

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CFETR外真空杜瓦结构分析与疲劳寿命评估

李宁, 杨庆喜, 宋云涛, 周才品, 徐皓, 陈建, 陶腊宝, 陆坤

DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202101002

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2023 年 8 期目录

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