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面向未来信息器件的原子制造技术
杨海涛
2023, 43(5): 367-389. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202304007
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超灵敏度检漏仪校准技术进展
王汐月, 卢耀文, 陈千睿, 董云宁, 魏萌萌, 杨传森, 闫睿, 齐京
2023, 43(5): 390-395. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202111011
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面向水平GAA内侧墙模块的干法Si0.7Ge0.3选择性刻蚀研究
刘阳, 李俊杰, 吴次南, 张青竹, 王桂磊, 周娜, 高建峰, 孔真真, 韩江浩, 罗彦娜, 刘恩序, 杨涛, 李俊峰, 殷华湘, 罗军, 王文武
2023, 43(5): 396-402. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202212018
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水蒸气等离子体诱导凝结分子动力学研究
李森, 徐瑶, 张正宇, 陶正德, 马婷婷, 何鑫
2023, 43(5): 403-409. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202211009
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某大型真空容器结构稳定性分析与试验评价
何绍栋, 王华新, 刘宝瑞, 李云恒, 施建昆, 钱都, 杨健
2023, 43(5): 410-417. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202211003
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电感耦合腔室中等离子体特性分析及线圈优化
张毅, 吴永明, 周铁
2023, 43(5): 418-425. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202209008
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偏压对电弧离子沉积锆膜性能的影响
赵世柯, 刘晋允, 于文杰
2023, 43(5): 426-431. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202211025
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利用发射光谱探究CO2对MPCVD法生长单晶金刚石质量的影响
伍正新, 满卫东, 贾元波, 范冰庆, 林志东
2023, 43(5): 432-437. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202208023
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无电极洛伦兹力推力器的电路模型
石峰, 史鑫
2023, 43(5): 438-443. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202207009
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射频驱动频率对托卡马克装置辉光放电清洗特性的影响
黄向玫, 曹诚志, 胡毅, 周军, 高霄燕, 崔成和
2023, 43(5): 444-449. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202211006
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果蔬蒸汽烫漂与热风真空干燥设备的结构优化
王栋, 聂皓, 袁越锦, 谢永康, 赵哲, 卢禹铭
2023, 43(5): 450-459. DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202210016
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